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潔凈機器人

2019-11-14

潔凈機器人是一種在潔凈環境中使用的工業機器人。隨著生產技術水平

潔凈機器人

不斷提高,其對生產環境的要求也日益苛刻,很多現代工業產品生產都要求在潔凈環境進行,潔凈機器人是潔凈環境下生產需要的關鍵設備。

關鍵技術包括:

(1)潔凈潤滑技術:通過采用負壓抑塵結構和非揮發性潤滑脂,實現對環境無顆粒污染,滿足潔凈要求。

(2)高速平穩控制技術:通過軌跡優化和提高關節伺服性能,實現潔凈搬運的平穩性。

(3)控制器的小型化技術:根據潔凈室建造和運營成本高,通過控制器小型化技術減小潔凈機器人的占用空間。

(4)晶圓檢測技術:通過光學傳感器,能夠通過機器人的掃描,獲得卡匣中晶圓有無缺片、傾斜等信息。


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